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J-GLOBAL ID：200903051350314120
微細線状欠陥の検出方法及びその装置
Inventor：
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Applicant, Patent owner：
Agent (1)：
絹谷 信雄
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1996202022
Publication number (International publication number)：1998048152
Application date： Jul. 31, 1996
Publication date： Feb. 20, 1998
Summary：
【要約】【課題】 対象物の抽出ごとにパラメータの変更を行うことなく線状の欠陥を精度良く抽出できる微細線状欠陥の検出方法及びその装置を提供する。【解決手段】 検出対象物を撮像した画像より微細線状欠陥を検出する方法において、画像に正規化処理を施した後、その正規化画像より多重多段階スライス法にて、ノイズ42を除去できる低いしきい値T1 で2値化したときの線状欠陥41aとつらなる多段階の濃度範囲(T1 〜T4 )の線状欠陥41b,d,fを統合してこれを線状欠陥候補41iとして検出し、さらに局所欠陥領域の結合と大局的欠陥領域の結合により微細線状欠陥を検出する方法である。
Claim (excerpt)：
検出対象物を撮像した画像より微細線状欠陥を検出する方法において、画像に正規化処理を施した後、ノイズを除去できる低いしきい値で2値化した領域を初期の核とし、多段階の濃度範囲で2値化した領域が、核領域と近接していれば核領域に反復的に統合する多重多段階スライス法を用いて線状欠陥候補を検出することを特徴とする微細線状欠陥の検出方法。
IPC (2)：
FI (3)：
G01N 21/89 B
, G01N 21/89 A
, G01B 11/30 G
