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J-GLOBAL ID：200903051359937015
チップ管理システムおよびその入力処理方法とロット処理方法
Inventor：
Applicant, Patent owner：
Agent (1)：
船橋 國則
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1993062783
Publication number (International publication number)：1994252020
Application date： Feb. 26, 1993
Publication date： Sep. 09, 1994
Summary：
【要約】【目的】 本発明は、ウエハに形成されるチップごとにを番号付けして、チップ番号とチップ位置とを関連付けたマップを作成することにより、チップごとにプロセスの指定をを可能にする。【構成】 入力されたロット情報31に基づいてチップ(図示せず)ごとの処理情報41を処理装置21に指令するホストコンピュータ11には、各情報を入力する端末12,ライン用端末13とプロセス情報61を記憶するプロセス情報記憶手段14とライン内情報81を記憶するライン内情報記憶手段15とが接続され、さらに各ウエハ(図示せず)に形成されるチップのマップを作成して、各チップに付したチップ番号91に対応するデバイス情報51を関連付けてマップ情報101 を作成するチップ管理コンピュータ16が接続されていて、このチップ管理コンピュータ16には、マップ情報101 を記憶するチップ情報記憶手段17が接続されている。
Claim (excerpt)：
異なるプロセス情報を必要とする複数のチップを搭載したウエハの生産管理を行うチップ管理システムであって、ロット情報とデバイス情報とプロセス情報とチップ位置情報とを入力する端末と、ライン内情報を入力するライン用端末と、入力された前記ロット情報に基づいて、ウエハに形成されるチップごとの処理情報をロットの処理を行う処理装置に指令するもので、前記端末と前記ライン用端末とを接続したホストコンピュータと、前記端末より入力されたプロセス情報を前記ホストコンピュータを通じて記憶するもので、当該ホストコンピュータに接続したプロセス情報記憶手段と、前記ライン用端末より入力されたライン内情報を前記ホストコンピュータを通じて記憶するもので、当該ホストコンピュータに接続したライン内情報記憶手段と、前記ロット情報と前記デバイス情報と前記チップ位置情報とに基づいて各ウエハに形成されるチップのマップを作成するとともに、各チップに番号付けして各チップ番号に対応するデバイス情報を関連付けてマップ情報を作成するもので、前記ホストコンピュータに接続したチップ管理コンピュータと、前記マップ情報を記憶するもので、前記チップ管理コンピュータに接続したチップ情報記憶手段とよりなることを特徴とするチップ管理システム。
IPC (4)：
H01L 21/02
, G05B 15/02
, G06F 15/21
, B23Q 41/00
