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J-GLOBAL ID：200903051363651401

感光性ガラスペースト組成物

Inventor： 宇都宮 伸 ,  高野 和浩 ,  栃澤 哲明 ,  大滝 史朗 ,  青木 由美子 ,  真鍋 恒夫
Applicant, Patent owner： 東洋合成工業株式会社 ,  旭硝子株式会社
Agent (1)： 栗原 浩之
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1998193008
Publication number (International publication number)：2000029210
Application date： Jul. 08, 1998
Publication date： Jan. 28, 2000
Summary：

【要約】【課題】 フォトリソグラフィーによる高解像度パターニングが可能であり、保存安定性に優れた、感光性ガラスペースト組成物を提供する。【解決手段】 低融点ガラス粉末、有機高分子化合物、重合性モノマー、光重合開始剤を含有する組成物において、有機高分子化合物として、N,N-2置換(メタ)アクリルアミド、またはN-1置換(メタ)アクリルアミドを構成成分とすると共に酸性官能基及びその塩を含有せず且つ水系現像液で現像可能な高分子化合物、及びセルロース系水溶性高分子からなる群から選択される少なくとも一種を主成分として用い、前記重合性モノマーとして、エポキシ化合物の(メタ)アクリル酸付加物で水可溶性のものを必須成分として用いる。

Claim (excerpt)：

低融点ガラス粉末、有機高分子化合物、重合性モノマー、光重合開始剤を含有する組成物において、有機高分子化合物として、N,N-2置換(メタ)アクリルアミド、またはN-1置換(メタ)アクリルアミドを構成成分とすると共に酸性官能基及びその塩を含有せず且つ水系現像液で現像可能な高分子化合物、及びセルロース系水溶性高分子からなる群から選択される少なくとも一種を主成分として用い、前記重合性モノマーとして、エポキシ化合物の(メタ)アクリル酸付加物で水可溶性のものを必須成分として用いることを特徴とする感光性ガラスペースト組成物。

IPC (6)：

G03F 7/027 515 ,  G03F 7/004 501 ,  G03F 7/033 ,  H01J 9/02 ,  H01J 9/227 ,  H01J 11/02

FI (6)：

G03F 7/027 515 ,  G03F 7/004 501 ,  G03F 7/033 ,  H01J 9/02 F ,  H01J 9/227 E ,  H01J 11/02 B

F-Term (13)：

2H025AA01 ,  2H025AA04 ,  2H025AA11 ,  2H025AB13 ,  2H025BC31 ,  2H025BC83 ,  2H025CB04 ,  2H025CB15 ,  2H025CC20 ,  5C027AA09 ,  5C028FF16 ,  5C040DD09 ,  5C040DD13