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J-GLOBAL ID：200903051379641937

オンチップレンズの製造方法

Inventor： 大平 喜恵 ,  船橋 博文 ,  樹神 雅人
Applicant, Patent owner： 株式会社豊田中央研究所
Agent (1)： 小玉 秀男 (外1名)
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：2001038496
Publication number (International publication number)：2002243913
Application date： Feb. 15, 2001
Publication date： Aug. 28, 2002
Summary：

【要約】【課題】 半導体基板の表面に位置精度良く、所望の形状を持ったオンチップレンズを製造する。【解決手段】 基板2の表面に透明膜6を成膜し、その膜6を局所的に残して除去し、CVD法によって透明膜8をさらに成膜することによってオンチップレンズを製造する。局所的に残った膜の頂部が丸められ、ほぼ球状のレンズが簡単に製造できる。

Claim (excerpt)：

基板表面に透明材料で成膜し、その膜を局所的に残して除去し、透明材料でさらに成膜して基板表面にオンチップレンズを製造する方法。

IPC (4)：

G02B 3/00 ,  G03F 7/20 501 ,  H01L 27/14 ,  H04N 5/335

FI (4)：

G02B 3/00 Z ,  G03F 7/20 501 ,  H04N 5/335 U ,  H01L 27/14 D

F-Term (18)：

2H097CA11 ,  2H097GB00 ,  2H097LA11 ,  2H097LA15 ,  2H097LA17 ,  4M118AA10 ,  4M118AB01 ,  4M118BA10 ,  4M118BA14 ,  4M118EA01 ,  4M118GD04 ,  4M118GD06 ,  4M118GD07 ,  5C024CY47 ,  5C024EX43 ,  5C024GX03 ,  5C024GY01 ,  5C024GY31