トレンチ形成プロセスの現場及びオンラインの監視方法及び装置

Inventor：
Applicant, Patent owner：
Agent (1)：頓宮孝一 (外3名)
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1992055377
Publication number (International publication number)：1993118825
Application date： Mar. 13, 1992
Publication date： May. 14, 1993
Summary：

【要約】【目的】トレンチ形成プロセスの現場でかつオンラインの監視を可能とすること。【構成】分光計30A,30Bを、同じ種の放射線を見るように同調させる。分光計30Bの上部信号Itから分光計30Aの側部信号Ilを減算することにより、干渉計的成分信号Iiを抽出する。準周期的で減衰形のサイン状信号であるこの干渉計的成分信号Iiの振幅と周期とを利用して、トレンチ深度と再堆積層の厚さとをリアルタイムで判定し、これによってトレンチ形成プロセスを連続的に監視する。

Claim (excerpt)：

半導体ウェーハにおけるトレンチ形成プロセスを監視するため、エッチング終点検出能力を有するエッチング・システムであって、a) 処理する半導体ウェーハ(24)を収容する2つのクォーツ窓(26A;26B)を備えたエッチング処理チャンバ(22)を含むドライエッチング機(21)と、b) 前記エッチング処理チャンバ内でプラズマ(27)を発生させるための無線周波数電源(25)であって、第1の前記窓(26A)は、側部窓であって、水平に配置した前記ウェーハの至近の前記プラズマを観察するように、また第2の前記窓(26B)は、上部窓であって、垂直の入射角で前記プラズマ及び前記ウェーハを観察するようにしてある、前記の無線周波数電源(25)と、c) 監視装置(28)と、を備えており、該監視装置が、イ) 前記第1及び第2の窓に接続した、それぞれで側部出力信号と上部出力信号(Il;It)を発生する分光計手段(30A;30B)と、ロ) 前記の側部信号と上部信号とを受け取り、これら信号を処理して、前記トレンチ形成プロセスの主要パラメータと厚さ(Th)とを恒久的にリアルタイムで生成するようにした、処理及び判定手段(31)と、を含むこと、を特徴とするエッチング・システム。

IPC (5)：

G01B 11/22 , H01L 21/302 , H01L 21/76 , H01L 27/04 , H01L 27/108

Patent cited by the Patent：

Cited by examiner (3)

特開昭59-086239
特開平1-145508
特開昭63-050708

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