Pat
J-GLOBAL ID：200903051476156156
赤外線センサおよびその製造方法
Inventor：
Applicant, Patent owner：
Agent (1)：
菊谷 公男 (外3名)
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1993034906
Publication number (International publication number)：1994229821
Application date： Jan. 30, 1993
Publication date： Aug. 19, 1994
Summary：
【要約】【目的】 小型で、高感度、生産性の良い赤外線センサとする。【構成】 成膜、エッチング等を施して赤外線センサ素子501を形成支持するとともに赤外線フィルター502が形成されるシリコンの半導体基板503と、キャビティ506が形成されその凹面を反射鏡504とする半導体基板505とが重ねあわされている。 入射光は赤外線フィルターを経て直接赤外線センサ素子に達するほか、反射鏡によって反射集光されて赤外線センサ素子に導かれる。これにより、高価な赤外線用集光レンズが不要で高感度のセンサが小型に得られ、また、赤外線センサ素子が空間内に保護されるから、実装工程での破損が避けられ、歩留りが向上する。
Claim (excerpt)：
互いに重ね合わされた赤外線フィルタ構成部材と半導体基板との間に空間が形成され、該空間内に赤外線検出部が配設され、前記半導体基板の前記空間を画する面には反射鏡が形成されて、前記赤外線フィルターから入射する赤外線を前記赤外線検出部に向け反射集光するように構成されたことを特徴とする赤外線センサ。
IPC (3)：
G01J 1/02
, G01J 5/02
, H01L 37/00
