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J-GLOBAL ID:200903051489805382

質量分析計を用いて容器を検査する方法並びに検査装置

Inventor:
Applicant, Patent owner:
Agent (1): 矢野 敏雄 (外1名)
Gazette classification:公開公報
Application number (International application number):1994220526
Publication number (International publication number):1995151730
Application date: Sep. 14, 1994
Publication date: Jun. 16, 1995
Summary:
【要約】【目的】 質量分析計を採用して容器を検査する方法と装置を提供する。【構成】 本発明の検査方法では、各容器から少なくとも1つの気体試料を抽出しかつ該気体試料のスペクトルを測定して評価する。更に本発明の検査装置では、被検混合気体の前処理ユニットを装備していて容器から抽出された各気体試料を検査しかつ該気体試料の質量スペクトルを検出することのできる質量分析計13と、各容器が異物質によって汚染されているか否かを決定するために前記質量スペクトルを多数の記憶質量スペクトルと比較する比較装置18とが設けられている。
Claim (excerpt):
コンベヤ装置に載って搬送される容器を検査するために、被検混合気体の選択的な前処理ユニットと共に少なくとも1つの質量分析計を併用して容器を検査する方法において、各容器から少なくとも1つの気体試料を抽出しかつ該気体試料のスペクトルを測定して評価することを特徴とする、質量分析計を用いて容器を検査する方法。
IPC (2):
G01N 27/64 ,  G01N 27/62
Patent cited by the Patent:
Cited by examiner (2)
  • 特公平7-089103
  • 特開昭61-272651

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