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J-GLOBAL ID：200903051509686008

表面洗浄法

Inventor： 岩森 暁 ,  石黒 信行 ,  貞本 満 ,  藤枝 信彦 ,  柳 平次郎 ,  中込 道次
Applicant, Patent owner： 三井化学株式会社
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1997066588
Publication number (International publication number)：1998261863
Application date： Mar. 19, 1997
Publication date： Sep. 29, 1998
Summary：

【要約】【構成】 片面上に溝が形成された金属製の基板ホルダーの溝にプリント配線板を立てて設置し、電極と基板ホルダー間でプラズマを生起してプラズマ処理してプリント配線板の金メッキ表面の汚れを除去することを特徴とする表面洗浄法。【効果】 本発明の表面洗浄法によれば、プリント配線板の金メッキ表面に付着した有機物並びに無機系化合物の汚れを、効果的にかつ連続的に高速で清浄化することができる。

Claim (excerpt)：

片面上に溝が形成された金属製の基板ホルダーの溝にプリント配線板を立てて設置し、電極と基板ホルダー間でプラズマを生起してプラズマ処理してプリント配線板の金メッキ表面の汚れを除去することを特徴とする表面洗浄法。

IPC (3)：

H05K 3/26 ,  B08B 7/00 ,  H05H 1/46

FI (3)：

H05K 3/26 A ,  B08B 7/00 ,  H05H 1/46 A