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J-GLOBAL ID：200903051524729376

静電吸着装置およびその吸着方法

Inventor： 橘内 浩之 ,  時末 裕充
Applicant, Patent owner： 株式会社日立製作所
Agent (1)： 高橋 明夫 (外1名)
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1992348175
Publication number (International publication number)：1994204325
Application date： Dec. 28, 1992
Publication date： Jul. 22, 1994
Summary：

【要約】【目的】 静電吸着装置によってウエハの反りが矯正され、確実に固定されたか否かの確認手段となる、静電吸着装置のモニター方法を提供する。【構成】 静電吸着式の試料保持装置の誘電体および電極板を、二つ以上に分割した対の構造2,5、3,6、4,7として、各々独立に電位差を発生させる電源を有する電源8,9,10、回路に流れる電流を計測する手段11,12,13を備え付ける。計測された電流値によって、ウエハ1の平坦化の状態を判断し、制御装置17により電圧値のコントロールを行う。

Claim (excerpt)：

電極板と誘電体とを積み重ね、前記電極板と被保持物体との間に電位差を生じさせることによって前記誘電体に前記被保持物体を吸着させる静電吸着装置において、少なくとも前記電極板を二つ以上に分割し、かつ、分割された部分を電気的に絶縁される構造として、それぞれ独立に電位差を発生させる電源と、各回路に流れる電流を計測する手段とを設けたことを特徴とする静電吸着装置。

IPC (4)：

H01L 21/68 ,  B23Q 3/15 ,  H02N 13/00 ,  H01L 21/302