センサ装置

Inventor：
Applicant, Patent owner：
Agent (1)：矢作和行
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：2005059677
Publication number (International publication number)：2006242776
Application date： Mar. 03, 2005
Publication date： Sep. 14, 2006
Summary：

【課題】測定すべき雰囲気が急激に変化しても、その変化に追従でき、測定誤差の少ないセンサ装置を提供すること。【解決手段】内部に空間が形成され、その内部空間16と外部とを連通する通気孔3を有するパッケージ25と、パッケージ25の内部空間16に収納され、通気孔3を介して導入される外部雰囲気に関連する物理量を検出するためのセンサ素子1と、備え、パッケージの内壁10、12、14には、内部空間16に突出して、当該内部空間16を複数の空間に仕切る仕切部30、31が形成され、当該仕切部30、31によって前記センサ素子1の収納空間20を狭めることで、測定誤差の少ないセンサ装置が得られる。【選択図】図1

Claim (excerpt)：

内部に空間が形成され、その内部空間と外部とを連通する通気孔を有するパッケージと、前記パッケージの内部空間に収納され、前記通気孔を介して導入される外部雰囲気に関連する物理量を検出するためのセンサ素子と、を備え、前記パッケージの内壁には、前記内部空間に突出して、当該内部空間を複数の空間に仕切る仕切部が形成され、当該仕切部によって前記センサ素子の収納空間が狭められることを特徴とするセンサ装置。

IPC (1)：

G01D 11/24

FI (1)：

G01D11/24 B

Patent cited by the Patent：

Cited by applicant (7)

湿度センサ及びその製造方法
Gazette classification：公開公報 Application number：特願2000-376968 Applicant：北陸電気工業株式会社
特開平4-142452
湿度センサの製造方法及び湿度センサ
Gazette classification：公開公報 Application number：特願平8-076455 Applicant：株式会社大泉製作所

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Cited by examiner (5)

特開平4-142452
湿度センサの製造方法及び湿度センサ
Gazette classification：公開公報 Application number：特願平8-076455 Applicant：株式会社大泉製作所
特開昭53-034598

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