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J-GLOBAL ID：200903051572808253
シリコン切断廃液からの砥粒回収方法
Inventor：
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Applicant, Patent owner：
Agent (1)：
佐藤 隆久 (外1名)
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1994192042
Publication number (International publication number)：1996039430
Application date： Jul. 22, 1994
Publication date： Feb. 13, 1996
Summary：
【要約】【目的】 シリコン単結晶のワイヤーソー切断において生じる廃砥粒調合油から再利用可能な砥粒を回収する。【構成】 砥粒調合油に含まれる油分と相溶する低粘度の抽出剤を、廃砥粒調合油に添加する工程と、この抽出剤を添加した廃砥粒調合油を遠心分離にかけて、固相と液相とに分離する工程とを有することを特徴とするシリコン切断廃液からの砥粒回収方法である。さらに、得られた固相を比重分離または浮遊分離にかけることにより所定の粒径以上の砥粒を得る工程と有することが望ましい。
Claim (excerpt)：
シリコン結晶の切断の際に使用される砥粒調合油の廃液からの砥粒の回収方法であって、a)砥粒調合油に含まれる油分と相溶する低粘度の抽出剤を、廃砥粒調合油に添加する工程と、b1)この抽出剤を添加した廃砥粒調合油を遠心分離にかけて、所定の粒径以上の固形物を含有する固相と、所定の粒径未満の固形残渣を含有する液相とに分離する工程と、を有することを特徴とするシリコン切断廃液からの砥粒回収方法。
IPC (2)：
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