Pat
J-GLOBAL ID：200903051586239316
縦型拡散・CVD装置用のウェーハカセット給排装置
Inventor：
,
,
,
Applicant, Patent owner：
Agent (1)：
三好 祥二
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1992177493
Publication number (International publication number)：1993338732
Application date： Jun. 11, 1992
Publication date： Dec. 21, 1993
Summary：
【要約】【目的】コンパクトで而も作業能率のよいウェーハカセット給排装置を提供する。【構成】ウェーハ41が装填されるカセット5を水平方向に進退させるカセット進退ユニット16を昇降可能に設け、該カセット進退ユニットにカセットを載置可能で且カセットを起伏可能なカセット回転ユニット17を設け、カセット回転ユニットによってカセットの姿勢を変え、カセット進退ユニットの昇降、進退作動によってカセットを所要の位置に移載する。
Claim (excerpt)：
ウェーハが装填されるカセットを水平方向に進退させるカセット進退ユニットを昇降可能に設け、該カセット進退ユニットにカセットを載置可能で且カセットを90°回転可能なカセット回転ユニットを設けたことを特徴とする縦型拡散・CVD装置用のウェーハカセット給排装置。
IPC (4)：
B65G 1/06
, H01L 21/205
, H01L 21/22
, H01L 21/68
Cited by examiner (6)
Show all
Return to Previous Page
