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J-GLOBAL ID：200903051655862438

光学材料の均質性検査装置

Inventor： 沢田 秀治
Applicant, Patent owner： 株式会社ニコン
Agent (1)： 佐野 弘
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1997056866
Publication number (International publication number)：1998239236
Application date： Feb. 25, 1997
Publication date： Sep. 11, 1998
Summary：

【要約】【課題】 装置側の光学系が均質性の必ずしも良くないもの、又、被検物の厚さがことなるものでも、検査精度が良好な光学材料の均質性検査装置を提供する。【解決手段】 「光源」である赤外レーザ31と、赤外レーザ31からの光束を平行光束に変換するコリメータレンズ32と、被検物33を載置して光軸の垂直方向に往復可能な被検台13と、平行光束を収束させる結像レンズ34と、結像レンズ34の焦点位置近傍に位置するナイフエッジ6と、光束の光量を調整するための「光量調整系」である可変式NDフィルタ12と、結像レンズ10によって得られる像の「検出系」である赤外カメラ11とを有する。

Claim (excerpt)：

光源からの光束をコリメータレンズにより平行光束に変換して、該平行光束を光学材料である被検物に照射して透過させた後、結像レンズで収束させて該結像レンズによって得られる像を検出系により検査して、前記被検物の均質性を検査する均質性検査装置において、前記被検物を載置して光軸の垂直方向に往復可能な被検台と、前記光束の光量を調整する光量調整系とを有することを特徴とする光学材料の均質性検査装置。

IPC (3)：

G01N 21/45 ,  G01J 9/00 ,  G01M 11/00

FI (3)：

G01N 21/45 B ,  G01J 9/00 ,  G01M 11/00 T