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J-GLOBAL ID：200903051670694444

X線発生装置

Inventor： 近藤 洋行 ,  藤崎 久雄 ,  永田 浩
Applicant, Patent owner： 株式会社ニコン
Agent (1)： 佐藤 正年 (外1名)
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1991230783
Publication number (International publication number)：1993045499
Application date： Aug. 19, 1991
Publication date： Feb. 23, 1993
Summary：

【要約】【目的】 従来のX線発生装置では、X線強度の小さいものしか利用できない等の問題を解消し、被照射物体上のX線強度を上げることが可能なX線発生装置を得る。【構成】 レーザ光の光軸上のX線をレーザ光から分離する分離手段を備える。

Claim (excerpt)：

レーザ光を固体標的上に集光して生成したプラズマよりX線を発生するX線発生装置において、前記レーザ光の光軸上または光軸近傍のX線を前記レーザ光から分離する分離手段を備えたことを特徴とするX線発生装置。

IPC (3)：

G21K 5/02 ,  G21K 1/06 ,  H05G 2/00