光学検査装置

Inventor：
Applicant, Patent owner：
Agent (1)：落合稔 (外2名)
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1995010023
Publication number (International publication number)：1996201304
Application date： Jan. 25, 1995
Publication date： Aug. 09, 1996
Summary：

【要約】【目的】観測する試料の像のコントラストを向上させると共に、観測手段の簡易化および低コスト化を達成できる検査装置を提供することにある。【構成】照射部3からの光を試料Sに照射し、透過光または反射光を観測光学系2を通して観測部4で観測する光学検査装置1において、観測光学系2は、透過光または反射光をそれぞれ集光する物側レンズ11および像側レンズ12を備えると共に両レンズ11,12の焦点を一致させるように構成した両側テレセントリック光学系と、前記焦点またはその近傍に配設されたアパーチャ13と、両側テレセントリック光学系の後側焦点またはその近傍に配設され、試料の像を投影するためのスクリーン15とを備え、観測部4は、スクリーン15に投影された試料Sの像を後方から観測するように構成した。

Claim (excerpt)：

照射部からの光を試料に照射し、その透過光または反射光を観測光学系を通して観測部で観測するように構成されている光学検査装置において、前記観測光学系は、前記透過光または反射光をそれぞれ集光する物側レンズおよび像側レンズを備えると共に当該両レンズの焦点を一致させるように構成した両側テレセントリック光学系と、前記焦点またはその近傍に配設されたアパーチャと、前記両側テレセントリック光学系の後側焦点またはその近傍に配設され、前記試料の像を投影するためのスクリーンとを備え、前記観測部は、前記スクリーンに投影された前記試料の像を後方から観測するように構成されていることを特徴とする光学検査装置。

IPC (5)：

G01N 21/88 , G01N 21/01 , G06T 7/00 , G06T 1/00 , H01L 21/66

FI (2)：

G06F 15/62 405 A , G06F 15/64 320 C

Patent cited by the Patent：

Cited by examiner (6)

特開平1-274283
特開平4-055735
特開平3-021810

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