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J-GLOBAL ID：200903051709945318

研磨パッド

Inventor： 山田 建孔 ,  吉田 英次 ,  吉清 暢男
Applicant, Patent owner： 帝人メトン株式会社
Agent (1)： 前田 純博
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1999248487
Publication number (International publication number)：2001071257
Application date： Sep. 02, 1999
Publication date： Mar. 21, 2001
Summary：

【要約】【課題】 適度の硬さを有し、耐久性があり、吸水性が小さく、被研磨物の表面を傷つけず、研磨に必要な部分のみを選択的に研磨でき、種々の形態に容易に対応できる研磨用パッドを提供する。【解決手段】 特定の物性のメタセシス架橋重合体成形物を研磨パッドとして用いる。

Claim (excerpt)：

被処理物表面の平坦化をおこなう機械研磨に用いる研磨パッドであって、メタセシス重合性環状オレフィンの開環重合体からなる樹脂で形成され、該樹脂の熱変形温度が90°C以上、圧縮弾性率が10,000kgf/cm2以上、吸水率が0.25重量%以下であることを特徴とする研磨パッド。

IPC (4)：

B24B 37/00 ,  C08G 61/06 ,  C08L 65/00 ,  H01L 21/304 622

FI (4)：

B24B 37/00 C ,  C08G 61/06 ,  C08L 65/00 ,  H01L 21/304 622 F

F-Term (27)：

3C058AA07 ,  3C058CA06 ,  3C058CB10 ,  3C058DA02 ,  4J002CE001 ,  4J002DD076 ,  4J002DE186 ,  4J002FD206 ,  4J032CA34 ,  4J032CA35 ,  4J032CA36 ,  4J032CA38 ,  4J032CA43 ,  4J032CA45 ,  4J032CA46 ,  4J032CB01 ,  4J032CB03 ,  4J032CD03 ,  4J032CD07 ,  4J032CD08 ,  4J032CD09 ,  4J032CE05 ,  4J032CE06 ,  4J032CE16 ,  4J032CE17 ,  4J032CE18 ,  4J032CG07