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J-GLOBAL ID：200903051715667265
浮揚装置及び該装置を具備した基板搬送装置
Inventor：
Applicant, Patent owner：
Agent (1)：
羽切 正治
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1995350512
Publication number (International publication number)：1997169427
Application date： Dec. 22, 1995
Publication date： Jun. 30, 1997
Summary：
【要約】【課題】 ガラス基板など、比較的大きな可撓性を有する物体を取り扱う場合に、塵埃の付着及び損傷を極力抑えながら撓みを防止することに寄与する浮揚装置と、基板搬送装置とを提供すること。【解決手段】 振動体11が発する音波に基づく疑似定在波の節のエネルギーによって浮揚力を与える。従って、ガラス基板3等を例えば搬送する場合に、このガラス基板等の端部のみにベルトを接触させて支えるようにし、以て、塵埃の付着及び損傷を極力抑え、ガラス基板等の中央部分に対して上記浮揚力を与えることにより撓みをほぼ0として曲り癖等の発生を防止する。
Claim (excerpt)：
振動体と、該振動体を励振する超音波励振手段とを有し、該振動体が発する音波に基づく疑似定在波の節のエネルギーによって浮揚力を与えることを特徴とする浮揚装置。
IPC (2)：
FI (2)：
Patent cited by the Patent：
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