表示装置の製造方法

Inventor： , , ,
Applicant, Patent owner：
Agent (1)：稲葉良幸 (外2名)
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：2002046904
Publication number (International publication number)：2002372921
Application date： Mar. 17, 1999
Publication date： Dec. 26, 2002
Summary：

【要約】【解決課題】特性の異なる薄膜を同一基板上にパターニング成膜する場合、薄膜材料液体がバンクを超えて流れ出るという事態を防止し、平坦且つ均一厚みの色むらなどの無い安定した特性の薄膜層を確実に高精度に比較的簡単に歩留まり良く形成でき、高精細な微細パターニングを可能とすること。【構成】基板においてバンクによって区切られた領城に薄膜形成材料を充填する工程を含む表示装置の製造方法であって、この方法は、前記バンクが形成された基板全表面に一連のプラズマ処理を均一に行い、この一連の処理により前記バンク表面の前記薄膜形成材料に対する非親和性を、前記バンクによって区切られた領域の表面のそれに対して高める工程を有する。

Claim (excerpt)：

基板においてバンクによって囲まれた領城に薄膜形成材料を充填する工程を含む表示装置の製造方法であって、前記バンクが形成された基板全表面に一律にプラズマ処理を行い、このプラズマ処理により前記バンク表面の前記薄膜形成材料に対する非親和性を、前記バンクによって囲まれた領域の表面のそれに対して高める工程を有する表示装置の製造方法。

IPC (8)：

G09F 9/00 342 , G02B 5/20 101 , G09F 9/30 349 , H05B 33/10 , H05B 33/12 , H05B 33/14 , H05B 33/22 , H01L 33/00

FI (8)：

G09F 9/00 342 Z , G02B 5/20 101 , G09F 9/30 349 Z , H05B 33/10 , H05B 33/12 B , H05B 33/14 A , H05B 33/22 Z , H01L 33/00 N

F-Term (41)：

2H048BA64 , 2H048BB02 , 2H048BB24 , 2H048BB47 , 3K007AB04 , 3K007AB17 , 3K007AB18 , 3K007BA06 , 3K007BB07 , 3K007CB01 , 3K007DB03 , 3K007EA00 , 3K007FA01 , 5C094AA08 , 5C094AA43 , 5C094BA03 , 5C094BA27 , 5C094CA19 , 5C094CA24 , 5C094DA13 , 5C094ED03 , 5C094FB02 , 5C094FB05 , 5C094JA01 , 5C094JA09 , 5F041AA14 , 5F041BB26 , 5F041CA45 , 5F041CA88 , 5F041DA20 , 5F041EE22 , 5F041FF06 , 5G435AA04 , 5G435AA17 , 5G435BB05 , 5G435CC09 , 5G435CC12 , 5G435HH14 , 5G435KK05 , 5G435KK07 , 5G435KK10

Patent cited by the Patent：

Cited by examiner (7)

特開平4-121702
カラーフィルタの製造方法及びそれを用いた液晶表示素子
Gazette classification：公開公報 Application number：特願平8-011258 Applicant：旭硝子株式会社
カラーフィルタの製造方法及びそれを用いた液晶表示素子
Gazette classification：公開公報 Application number：特願平8-038405 Applicant：旭硝子株式会社

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