Pat

J-GLOBAL ID：200903051758757098

ロールコート用放射線感応性組成物

Inventor： 薄田 謙二
Applicant, Patent owner： クラリアント インターナショナル リミテッド
Agent (1)： 鐘尾 宏紀 (外1名)
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1996347578
Publication number (International publication number)：1998186638
Application date： Dec. 26, 1996
Publication date： Jul. 14, 1998
Summary：

【要約】【目的】 ロールコート法により基板上に塗布した際に塗布ムラの発生しにくいロールコート用放射線感応性組成物を提供すること。【構成】 ロールコート用放射線感応性組成物の溶剤として、プロピレングリコール、ジプロピレングリコールの少なくとも1種を当該溶剤中20重量%以下含有する混合溶剤を用いる。プロピレングリコール或いはジプロピレングリコール以外の溶剤としては、例えばプロピレングリコールモノメチルエーテルアセテート、プロピレングリコールモノメチルエーテル、エチレングリコールモノエチルエーテルアセテート、プロピレングリコールt-ブチルエーテル、エチルラクテート及びこれらの混合物などが好ましいものとしてあげられる。

Claim (excerpt)：

放射線感応性組成物の溶剤として、プロピレングリコール及びジプロピレングリコールから選ばれた少なくとも1種を該溶剤中20重量%以下含有する混合溶剤を用いることを特徴とする、ロールコーターによる塗布性の優れたロールコート用放射線感応性組成物。

IPC (4)：

G03F 7/004 501 ,  G02B 5/20 101 ,  G03F 7/039 501 ,  H01L 21/027

FI (4)：

G03F 7/004 501 ,  G02B 5/20 101 ,  G03F 7/039 501 ,  H01L 21/30 502 R