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J-GLOBAL ID：200903051759433091
真空アーク装置及び真空アーク点火方法
Inventor：
Applicant, Patent owner：
Agent (1)：
杉信 興
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1991245752
Publication number (International publication number)：1993082257
Application date： Sep. 25, 1991
Publication date： Apr. 02, 1993
Summary：
【要約】【目的】 アーク電極間距離,真空度などにかかわらず真空アークを確実に点火する装置及び方法を安価に提供する。【構成】 真空アーク装置において、真空アーク陰極表面を局所的に加熱する加熱源を備える。加熱としては、レーザービーム9,イオンビーム13,電子ビーム15,直流プラズマジェット17などを利用する。
Claim (excerpt)：
真空アーク装置において、真空アーク陰極表面を局所的に加熱する加熱手段を備える真空アーク装置。
IPC (3)：
H05B 7/18
, C23C 14/24
, H05H 1/48
