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J-GLOBAL ID：200903051772099036

複合荷電粒子ビーム装置

Inventor： 坂口 清志
Applicant, Patent owner： 日本電子株式会社
Agent (1)： 井島 藤治 (外1名)
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1994019230
Publication number (International publication number)：1995230784
Application date： Feb. 16, 1994
Publication date： Aug. 29, 1995
Summary：

【要約】【目的】 イオンビームと電子ビームの光軸の調整やZ軸の調整を短時間に簡単に行うことができる荷電粒子ビーム複合装置を実現する。【構成】 陰極線管32にはイオンビームの走査に基づく信号と電子ビームの走査に基づく信号とが同時に供給され、両信号に基づく像が重畳して表示される。装置のオペレータは、2つの像が重畳された像を観察し、例えば、試料上の特徴部分についての2つの像が重なり合うように電子ビーム照射コラム4を機械的に移動させる。この状態がイオンビームと電子ビームの光軸が一致した状態である。なお、光軸を一致させる動作は、コラムの機械的な移動によってラフに行い、機械的なコラムの移動後に電子ビームかイオンビームのいずれか、あるいは、両方のビームシフト機能により、精密な光軸合わせを行うことは望ましい。

Claim (excerpt)：

イオン源と、イオン源からのイオンビームを試料上に細く集束するためのイオンビーム集束手段と、イオンビームを偏向するためのイオンビーム偏向手段とを備えたイオンビーム照射コラム、電子銃と、電子銃からの電子ビームを試料上に細く集束するための電子ビーム集束手段と、電子ビームを偏向するための電子ビーム偏向手段とを備えた電子ビーム照射コラム、イオンビーム偏向手段に供給する走査信号を発生する走査信号発生手段、電子ビーム偏向手段に供給する走査信号を発生する走査信号発生手段、試料へのイオンビームの照射に基づいて発生した信号を検出する第1の検出器、試料への電子ビームの照射に基づいて発生した信号を検出する第2の検出器、第1の検出器と第2の検出器の両信号が供給される表示装置とを備えており、イオンビーム照射コラムと電子ビーム照射コラムとが所定の角度傾けて配置されている複合荷電粒子ビーム装置において、少なくともいずれか一方のビームの走査信号の振幅を変調し、試料の同一領域をイオンビームと電子ビームとによって走査するための手段とを備えた複合荷電粒子ビーム装置。

IPC (4)：

H01J 37/147 ,  H01J 37/252 ,  H01J 37/28 ,  H01J 37/30