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J-GLOBAL ID：200903051777834630
微細切削方法および微細切削装置
Inventor：
,
,
Applicant, Patent owner：
Agent (1)：
佐藤 正美
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1998155569
Publication number (International publication number)：1999347888
Application date： Jun. 04, 1998
Publication date： Dec. 21, 1999
Summary：
【要約】 (修正有)【課題】切削工具の折損を生じることなく、金属材料からなる被加工物を3次元的に微細かつ精密に切削できるようにする。【解決手段】切削工具2を電解液4中の被加工物1の一側面から1〜3mm離れた位置に移動させ、被加工物1と切削工具2との間に2Vの電解電圧を5秒間印加して、被加工物1の一側面に不働態膜を生成する。切削工具2を不働態膜が生成された一側面まで移動させるとともに、回転させて、不働態膜の切削を開始する。切削を開始したら、切削抵抗センサ31から得られる、被加工物1と切削工具2との間に生じる切削抵抗の測定値を、予め設定された閾値と比較する切削抵抗測定部30の出力から、切削抵抗が閾値を超えたか否かを判断し、閾値を超えていなければ、不働態膜の切削を継続するが、閾値を超えたときには、切削を直ちに停止し、さらに切削工具2を被加工物1に対して退避させた上で、不働態膜の生成および切削を繰り返す。
Claim (excerpt)：
金属材料からなる被加工物と電極との間に電解液を介在させ、前記被加工物を陽極とし、前記電極を陰極として、前記被加工物と前記電極との間に電解電圧を印加して、前記被加工物の表面に不働態膜を生成する不働態膜生成工程と、その生成した不働態膜を切削工具によって切削除去する切削工程と、を備える微細切削方法において、前記切削工程時、前記被加工物と前記切削工具との間に生じる切削抵抗を測定し、その測定値が予め設定した閾値を超えたとき、前記切削工具による前記被加工物の切削を停止させた後、前記切削工具を前記被加工物に対して退避させ、その後、前記不働態膜生成工程および前記切削工程を繰り返すことを特徴とする微細切削方法。
IPC (3)：
B23Q 15/013
, B23H 3/00
, B23P 25/00
B23Q 15/013
, B23H 3/00
, B23P 25/00
