走査電子顕微鏡

Inventor： ,
Applicant, Patent owner：
Agent (1)：平木道人
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1992092441
Publication number (International publication number)：1993266855
Application date： Mar. 19, 1992
Publication date： Oct. 15, 1993
Summary：

【要約】【目的】電子源として電界放出型電子銃を備え、さらには対物レンズと試料との間に電子線に対する減速電界を発生させる構造の走査電子顕微鏡において、像障害を取り除いてSN比の高い像観察を得られるようにする【構成】電子源から対物レンズ17に至る電子線通路を覆うように配置され、その内部に加速電界を形成する通路円筒21を設け、対物レンズ17と試料18との間に、一次電子線に対する減速電界を形成し、通路円筒21内に吸引された二次信号24を、対物レンズ17より電子源側で検出するようにした。

Claim (excerpt)：

電界放出型電子銃から放出された一次電子線を試料上で走査し、当該試料から発生した二次信号に基づいて像観察を行う走査電子顕微鏡において、電子源から対物レンズに至る電子線通路を覆うように配置され、その内部に一次電子線の加速電界を形成する通路円筒と、対物レンズと試料との間に、一次電子線に対する減速電界を形成する減速電界形成手段と、通路円筒内に吸引された二次信号を、対物レンズより電子源側で検出する二次信号検出手段とを具備したことを特徴とする走査電子顕微鏡。

IPC (3)：

H01J 37/244 , H01J 37/073 , H01J 37/28

Patent cited by the Patent：

Cited by examiner (12)

特開昭61-208736
特開平3-022339
特開昭64-000637

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