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J-GLOBAL ID：200903051899313606
LSI画像位置ずれ算出方法
Inventor：
Applicant, Patent owner：
Agent (1)：
丸山 隆夫
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1996125059
Publication number (International publication number)：1997305744
Application date： May. 20, 1996
Publication date： Nov. 28, 1997
Summary：
【要約】【課題】 高速かつ低誤差率のLSI画像位置ずれ算出方法を得る。【解決手段】 LSIの2次元形状を観察した対象画像11と雛型LSIの2次元形状を参照した参照画像12との、2つの画像内に分布するそれぞれの特徴要素を抽出する(15)。抽出した2つの特徴要素の分布(21、22)を互いに垂直な2つの軸方向に投影する(25)。投影された2つの画像に対する特徴要素の投影量(31〜34)をそれぞれの軸毎に独立して1次元で比較し差量を算出する(35)。算出された2つの差量によりLSIの雛型LSIに対する位置ずれ量41、42とする。上記の参照画像は、LSIの2次元形状を観察し同一設計の下で製造された異なるLSIサンプルの画像、あるいはそのLSIに対応するマスク図等を適用する。これにより、高速かつ低誤率での位置ずれ量の算出を可能とする。
Claim (excerpt)：
LSIの2次元形状を観察した対象画像と該対象画像に対応する雛型LSIの2次元形状を参照した参照画像との、2つの画像内に分布するそれぞれの特徴要素を抽出する特徴抽出操作と、前記抽出した2つの特徴要素の分布を互いに垂直な2つの軸方向に投影する直交投影操作と、前記投影された2つの画像に対する前記特徴要素の投影量をそれぞれの軸毎に独立して1次元で比較し差量を算出する比較操作とを有し、該比較操作により算出された2つの差量により前記LSIの前記雛型LSIに対する位置ずれ量とすることを特徴とするLSI画像位置ずれ算出方法。
IPC (4)：
G06T 1/00
, G01B 11/00
, G01N 21/88
, G06T 7/00
G06F 15/62 390 C
, G01B 11/00 H
, G01N 21/88 J
, G06F 15/70 330 P
