薄膜ディスクまたはウェハーの両面光学検査システムおよび方法

Inventor：
Applicant, Patent owner：
Agent (1)：磯野道造
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：2005001750
Publication number (International publication number)：2005214966
Application date： Jan. 06, 2005
Publication date： Aug. 11, 2005
Summary：

【課題】表面の単一走査で薄膜ディスクまたはウェハー上の粒子、ピットまたはスクラッチを検出・分類する両面光学検査システムを提示する。【解決手段】 1つの実施形態において、本発明は1対の直交するように向けられたレーザビームを、一方はウェハーまたは薄膜ディスク上の半径方向に、他方は円周方向に使用する。半径方向および円周方向のビームからの散乱光は、偏光によるかまたは異なるレーザ波長と一緒に2色性の鏡の使用により分離される。【選択図】図3

Claim (excerpt)：

第1の光ビームを物体上の第1の位置に向けて第1の入射面に導き、前記第1の入射面と第2の入射面との角度がゼロに等しくない第2の光ビームを、前記物体上の第2の位置に向けて前記第2の入射面に導き、前記第1の位置と前記第2の位置から散乱された光強度を含む散乱光強度を、第1の散乱光ビームと第2の散乱光ビームに分離し、前記第1の散乱光ビームを検出するとともに、前記第2の散乱光ビームを検出すること、を含むことを特徴とする物体表面の欠陥を測定するための方法。

IPC (5)：

G01N21/95 , G01B11/30 , G01N21/956 , G11B5/84 , H01L21/66

FI (5)：

G01N21/95 A , G01B11/30 A , G01N21/956 A , G11B5/84 C , H01L21/66 J

F-Term (65)：

2F065AA24 , 2F065AA31 , 2F065AA49 , 2F065BB01 , 2F065BB22 , 2F065CC03 , 2F065CC19 , 2F065CC31 , 2F065FF09 , 2F065FF41 , 2F065FF49 , 2F065FF66 , 2F065GG06 , 2F065HH04 , 2F065HH08 , 2F065HH12 , 2F065JJ01 , 2F065JJ05 , 2F065JJ08 , 2F065JJ16 , 2F065JJ18 , 2F065JJ22 , 2F065LL00 , 2F065LL12 , 2F065LL15 , 2F065LL21 , 2F065LL32 , 2F065LL36 , 2F065LL37 , 2F065LL46 , 2F065LL47 , 2F065LL49 , 2F065LL62 , 2F065MM16 , 2F065PP13 , 2F065QQ03 , 2F065QQ17 , 2F065QQ25 , 2F065QQ26 , 2F065QQ27 , 2F065QQ42 , 2G051AA51 , 2G051AA71 , 2G051AB01 , 2G051AB07 , 2G051BA01 , 2G051BA10 , 2G051BA11 , 2G051BB01 , 2G051BB07 , 2G051CA03 , 2G051CA07 , 2G051CB05 , 2G051CC07 , 2G051CC11 , 4M106AA01 , 4M106BA05 , 4M106CA38 , 4M106DB02 , 4M106DB08 , 4M106DB11 , 5D112AA07 , 5D112AA24 , 5D112JJ03 , 5D112JJ05

Patent cited by the Patent：

Cited by examiner (6)

光学的測定システム
Gazette classification：公開公報 Application number：特願平10-263624 Applicant：エイチデーアイインストロメンテーション
特許第3141974号
特許第3141974号

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