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J-GLOBAL ID：200903051907898627
シート状物の欠陥検出装置及び欠陥検出方法
Inventor：
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Applicant, Patent owner：
Agent (1)：
中島 淳 (外4名)
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1995229089
Publication number (International publication number)：1997072857
Application date： Sep. 06, 1995
Publication date： Mar. 18, 1997
Summary：
【要約】【課題】 受光セルの数を低減し、光透過分布の取り込み時間を短縮する。【解決手段】 光透過率が1/100,000以上1/100以下の被検査シート12に形成された欠陥を検出する欠陥検出装置であって、1個当たりの被検査シート12上の測定領域の面積が想定される最少の点欠陥の面積の10倍以上100倍以下である受光セルが一次元又は二次元状に配置された光透過分布を測定するためのラインセンサカメラ54と、ラインセンサカメラ54と対向するように配置され、ラインセンサカメラ54に向けて光線を照射する検査用第2光源52と、被検査シート12が検査用第2光源52の照射方向と交差する方向にラインセンサカメラ54と検査用第2光源52との間を通過するように、被検査シート12を搬送する搬送ローラ26A〜26Fと、測定された光透過分布に基づいて被検査シート12に形成された点欠陥を検出する欠陥検出手段と、を備える。
Claim (excerpt)：
光透過率が1/100,000以上1/100以下のシート状物に形成された欠陥を検出する欠陥検出装置であって、1個当たりの前記シート状物上の測定領域の面積が想定される最少の点欠陥の面積の10倍以上100倍以下である受光セルが一次元又は二次元状に配置された光透過分布を測定するための測定手段と、前記測定手段と対向するように配置され、前記測定手段に向けて光線を照射する照明手段と、前記シート状物が前記照明手段の照射方向と交差する方向に前記測定手段と前記照明手段との間を通過するように、前記照明手段及び前記測定手段と前記シート状物との少なくとも一方を搬送する搬送手段と、測定された光透過分布に基づいて前記シート状物に形成された点欠陥を検出する欠陥検出手段と、を備えたシート状物の欠陥検出装置。
IPC (2)：
FI (2)：
G01N 21/88 F
, G01N 21/89 A
Cited by examiner (6)
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