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J-GLOBAL ID：200903051963792882
露光光学装置
Inventor：
,
Applicant, Patent owner：
Agent (1)：
小池 晃 (外2名)
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1994172208
Publication number (International publication number)：1996036766
Application date： Jul. 25, 1994
Publication date： Feb. 06, 1996
Summary：
【要約】【構成】 露光光学系3の光路上の光束をこの光路に対して進退可能な全反射ミラー13により光路外に導き、光軸調整光学系17に入射させる。照射対象物への露光を行うときは、全反射ミラー13を露光光学系の光路外に退出させる。【効果】 光軸調整光学系に入射される光束の光量が大きいため、高精度で安定した光軸調整が行える。
Claim (excerpt)：
レーザ光源と、上記レーザ光源より出射された光束を照射対象物上に照射する露光光学系と、上記露光光学系の光路に対して進退可能に配設され、該光路中に位置するとき、この光路上の光束を該光路の外に導く光束導出光学素子と、上記光束導出光学素子により上記光路の外に導かれた光束が入射され、この光束についての光軸の位置を検出する光軸調整光学系とを備えた露光光学装置。
IPC (3)：
G11B 7/09
, G11B 7/08
, G11B 7/135
