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J-GLOBAL ID：200903052053332469

ディスク表面欠陥検査装置

Inventor：
石黒 隆之

About 石黒 隆之

, 
堀江 聖岳

About 堀江 聖岳

, 
加藤 啓仁

About 加藤 啓仁


Applicant, Patent owner：
日立電子エンジニアリング株式会社

About 日立電子エンジニアリング株式会社


Agent (1)： 飯塚 義仁
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1999244530
Publication number (International publication number)：2001066263
Application date： Aug. 31, 1999
Publication date： Mar. 16, 2001
Summary：
【要約】【課題】 ディスク表面上に形成された円周痕を欠陥として検出することのできるディスク表面欠陥検査装置の提供。【解決手段】 所定の狭い範囲でのみ散乱光を集光することのできる立体角の小さな集光手段を、投光系から照射されるレーザー光と同一光軸上に所定の散乱光の指向性にあわせた仰角に配置する。すなわち、立体角が小さく形成された集光手段は狭い範囲にある鋭い指向性を持つ散乱光のみを受光することができる。また、集光手段は投光系から発せられるレーザー光と同一光軸上に、所定の散乱光の指向性にあわせた仰角に配置されることから、集光手段は所定方向に鋭い指向性を持つ散乱光のみを検出する。したがって、散乱光が所定方向に鋭い指向性を持つといった特性を備えるディスク表面上の円周痕を欠陥として検出することができる。
Claim (excerpt)：
レーザー光をディスク表面に照射して該表面を走査する投光系と、該表面からの正反射光を受光するための1又は複数の正反射光受光系と、該表面に存在する欠陥による前記レーザー光の散乱光を受光するための1又は複数の散乱光受光系とを備えるディスク表面欠陥検査装置において、前記散乱光受光系の少なくとも1つの受光系は所定の狭い範囲でのみ散乱光を集光することのできる立体角の小さな集光手段と、前記集光手段で集光された散乱光を受光して欠陥信号を発生する受光手段とを備えてなり、前記集光手段は、前記投光系から照射されるレーザー光と同一光軸上に所定の散乱光の指向性にあわせた仰角に配置されることによって、所定の方向に鋭い指向性を持つ散乱光のみを集光するようにしたことを特徴とするディスク表面欠陥検出装置。
IPC (2)：
G01N 21/95 ,  G01B 11/30
FI (2)：
G01N 21/95 A ,  G01B 11/30 A
F-Term (20)：
2F065AA49 ,  2F065BB03 ,  2F065CC03 ,  2F065FF44 ,  2F065GG04 ,  2F065GG12 ,  2F065HH04 ,  2F065HH12 ,  2F065JJ01 ,  2F065JJ05 ,  2F065JJ08 ,  2F065LL02 ,  2F065LL04 ,  2G051AA71 ,  2G051AB07 ,  2G051BA01 ,  2G051CA07 ,  2G051CB01 ,  2G051CB05 ,  2G051CC17
Patent cited by the Patent：
Cited by examiner (6)
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