遠紫外線露光用ポジ型フォトレジスト組成物

Inventor：
Applicant, Patent owner：
Agent (1)：萩野平 (外4名)
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1998212878
Publication number (International publication number)：2000047387
Application date： Jul. 28, 1998
Publication date： Feb. 18, 2000
Summary：

【要約】【課題】 250nm以下、特に220nm以下の露光光源の使用時に、良好な感度を与え、かつこの組成物を有機溶媒に溶解後の塗液の保存安定性が優れたポジ型フォトレジスト組成物を提供すること。【解決手段】活性光線又は放射線の照射によりスルホン酸を発生する、特定の構造の化合物と、特定の構造式で表される、酸の作用により分解してアルカリ現像液中での溶解性が増大する樹脂とを含有する遠紫外線露光用ポジ型フォトレジスト組成物。

Claim (excerpt)：

活性光線または放射線の照射により、スルホン酸を発生する下記一般式(I)または(II)で表される化合物、及び下記一般式(cI)で表される繰り返し単位を含む、酸の作用により分解しアルカリに対する溶解性が増加する樹脂、を含有することを特徴とする遠紫外線露光用ポジ型フォトレジスト組成物。【化1】式中、R1 〜R5 はそれぞれ水素原子、置換基を有していてもよいアルキル基、置換基を有していてもよいシクロアルキル基、置換基を有していてもよいアルコキシ基、置換基を有していてもよいアルコキシカルボニル基、置換基を有していてもよいアシル基、置換基を有していてもよいアシロキシ基、ニトロ基、ハロゲン原子、水酸基、カルボキシル基を表す。a:1〜5、b:1〜5、l:1〜5、m:0〜5、n:0〜5を表す。但し、R1 、R2 の少なくとも一方は炭素数5個以上の置換基を有していてもよいアルキル基、置換基を有していてもよいシクロアルキル基、置換基を有していてもよいアルコキシ基、置換基を有していてもよいアルコキシカルボニル基、置換基を有していてもよいアシル基、置換基を有していてもよいアシロキシ基を表す。l+m+n=1の時、R3 は置換基を有していてもよいアルキル基、置換基を有していてもよいシクロアルキル基、置換基を有していてもよいアルコキシ基、置換基を有していてもよいアルコキシカルボニル基、置換基を有していてもよいアシル基、置換基を有していてもよいアシロキシ基を表す。X:R-SO3 、R:置換基を有していてもよい脂肪族炭化水素基、置換基を有していてもよい芳香族炭化水素基を表す。【化2】式中、Rc1〜Rc8は、同じでも異なってもよく、水素原子、置換基を有していてもよいアルキル基、置換基を有していてもよい環状炭化水素基、ハロゲン原子、シアノ基、酸の作用により分解する基、又は-C(=O)-Y-A-Rc9、-COORc11 を表す。p/q:1/9〜9/1p+q:10〜100Y:酸素原子、硫黄原子、-NH-、-NHSO2 -、-NHSO2 NH-から選ばれる2価の結合基、Rc9:-COOH、-COORc10 (Rc10 はRc11 および下記ラクトン構造の定義と同義)、-CN、水酸基、置換基を有していてもよいアルコキシ基、-CO-NH-Rc11 、-CO-NH-SO2 -Rc11 又は下記ラクトン構造を表す。Rc11 :置換基を有していてもよいアルキル基、置換基を有していてもよい環状アルキル基、A:単結合、アルキレン基、置換アルキレン基、エーテル基、チオエーテル基、カルボニル基、エステル基、アミド基、スルフォンアミド基、ウレタン基、又はウレア基よりなる群から選択される単独あるいは2つ以上の基の組み合わせ、を表す。【化3】R29〜R36は、同じでも異なってもよく、水素原子、置換基を有していてもよいアルキル基を表す。a、bは、各々1または2を表す。

IPC (4)：

G03F 7/039 601 , C08F 2/50 , G03F 7/004 503 , H01L 21/027

FI (4)：

G03F 7/039 601 , C08F 2/50 , G03F 7/004 503 A , H01L 21/30 502 R

F-Term (23)：

2H025AA01 , 2H025AA11 , 2H025AB16 , 2H025AC05 , 2H025AC08 , 2H025AD03 , 2H025BE07 , 2H025CB11 , 2H025CB41 , 4J011QC05 , 4J011QC07 , 4J011RA03 , 4J011RA04 , 4J011RA10 , 4J011RA11 , 4J011RA12 , 4J011SA73 , 4J011SA78 , 4J011SA83 , 4J011SA87 , 4J011UA01 , 4J011UA04 , 4J011WA01

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