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J-GLOBAL ID:200903052084192860
微小構造体、およびその製造方法および装置
Inventor:
,
Applicant, Patent owner:
Agent (1):
平田 忠雄
Gazette classification:公開公報
Application number (International application number):1996205993
Publication number (International publication number):1998044255
Application date: Aug. 05, 1996
Publication date: Feb. 17, 1998
Summary:
【要約】【課題】 加工工具の破損を招くことなく製造することができ、三次元の曲面形状を有し、より微小かつ精密であり、使用に際し変形,傷等を防止して取扱性に優れた微小構造体を提供する。【解決手段】 被加工材4を構成する紫外線硬化樹脂に半硬化状態となるよう紫外線を照射することにより、紫外線硬化樹脂は加工抵抗の少ない状態となり、この加工抵抗の少ない状態で加工して微小構造化することで、加工工具の破損防止が可能となる。従って、微細工具を用いることができるので、その微細工具に対する三次元の移動制御を行うことで、三次元の曲面形状を有し、より微細かつ精密な微少構造体を製造することが可能となる。加工後は、必要な機械的強度を備える硬化状態となるよう第2の紫外線照射光源9から紫外線硬化樹脂に紫外線を照射することで、使用に際し変形,傷等が防止される。
Claim (excerpt):
反応硬化性材料によって形成された微少構造体において、半硬化状態で加工され、硬化によって所定のサイズにされた微小構造部を備えたことを特徴とする微小構造体。
IPC (3):
B29D 11/00
, B29C 33/38
, B29K101:10
FI (2):
Patent cited by the Patent:
Cited by examiner (3)
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特開昭55-129472
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ダイヤモンドコーティング工具およびその製作方法
Gazette classification:公開公報
Application number:特願平5-003043
Applicant:日立精工株式会社
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特開平4-201417
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