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J-GLOBAL ID：200903052091536817

ギャップ測定方法、インプリント方法、及びインプリント装置

Inventor： 末平 信人 ,  関 淳一 ,  稲 秀樹 ,  古川 幸生
Applicant, Patent owner： キヤノン株式会社
Agent (1)： 長尾 達也
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：2007138487
Publication number (International publication number)：2008008889
Application date： May. 25, 2007
Publication date： Jan. 17, 2008
Summary：

【課題】ギャップ計測用の段差を正確に測定することができる新規なギャップ測定方法等を提供する。【解決手段】2つの部材間のギャップを測定するギャップ測定方法であって、 対向して配置されている第1の部材と第2の部材を用意し、 前記第1及び第2の部材に、一方の部材側から光を照射し、 照射された光の反射光あるいは透過光の強度に関するスペクトルデータを取得し、 ギャップの大きさと強度スペクトルとが関連付けられているデータベースと、 前記スペクトルデータとを比較して、 前記第1の部材と前記第2の部材間のギャップを測定する構成とする。【選択図】 図1

Claim (excerpt)：

2つの部材間のギャップを測定するギャップ測定方法であって、 対向して配置されている第1の部材と第2の部材を用意し、 前記第1及び第2の部材に、一方の部材側から光を照射し、 照射された光の反射光あるいは透過光の強度に関するスペクトルデータを取得し、 ギャップの大きさと強度スペクトルとが関連付けられているデータベースと、 前記スペクトルデータとを比較して、 前記第1の部材と前記第2の部材間のギャップを測定することを特徴とするギャップ測定方法。

IPC (4)：

G01B 11/14 ,  H01L 21/027 ,  B81C 5/00 ,  B29C 59/02

FI (4)：

G01B11/14 G ,  H01L21/30 502D ,  B81C5/00 ,  B29C59/02 Z

F-Term (39)：

2F065AA22 ,  2F065BB01 ,  2F065CC17 ,  2F065CC25 ,  2F065EE00 ,  2F065FF51 ,  2F065GG24 ,  2F065HH13 ,  2F065HH15 ,  2F065JJ02 ,  2F065JJ25 ,  2F065LL46 ,  2F065LL67 ,  2F065NN20 ,  2F065PP12 ,  2F065QQ18 ,  2F065QQ23 ,  2F065QQ29 ,  2F065QQ42 ,  3C081AA01 ,  3C081CA37 ,  3C081CA44 ,  3C081EA07 ,  3C081EA27 ,  3C081EA29 ,  4F209AA44 ,  4F209AF01 ,  4F209AG05 ,  4F209AH33 ,  4F209AH73 ,  4F209AP06 ,  4F209AQ01 ,  4F209AR07 ,  4F209PA02 ,  4F209PB01 ,  4F209PN13 ,  5F046BA10 ,  5F046DA17 ,  5F046DB01

Patent cited by the Patent：

Cited by applicant (1)

• 米国特許第6696220号明細書