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J-GLOBAL ID：200903052094587544

光電変換装置

Inventor： 山本 秀男
Applicant, Patent owner： オリンパス光学工業株式会社
Agent (1)： 最上 健治
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1996194139
Publication number (International publication number)：1998022515
Application date： Jul. 05, 1996
Publication date： Jan. 23, 1998
Summary：

【要約】【課題】 光電変換素子の受光面と透明基板の隙間に充填し封止する透明樹脂の、膨脹係数の差による剥離の発生を防止するようにした光電変換装置を提供する。【解決手段】 光電変換素子1を透明基板2の表面に形成された金属配線3に、金属ボールからなる突起電極4を介してフリップチップボンディングし、光電変換素子1の受光面表面と透明基板2の封止面との隙間に透明樹脂5を充填し封止する。その際、突起電極4を構成する金属ボールの直径を 100μm以上とし、前記隙間のギャップ寸法を40μm以上確保し、透明樹脂5と透明基板2との膨脹係数の差による熱応力又は透明樹脂自体の硬化収縮応力を緩和し、透明樹脂5の剥離を防止する。

Claim (excerpt)：

光信号を電気信号に変換する光電変換素子の受光面側を、金属配線パターンが形成された透明基板表面に、突起電極を介してフリップチップボンディングし、前記光電変換素子の受光面と前記透明基板との隙間に透明樹脂を充填し封止した光電変換装置において、前記隙間のギャップ寸法を少なくとも40μmに設定したことを特徴とする光電変換装置。

IPC (3)：

H01L 31/02 ,  H01L 21/56 ,  H01L 21/60 311

FI (3)：

H01L 31/02 B ,  H01L 21/56 E ,  H01L 21/60 311 Q