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J-GLOBAL ID：200903052108561853
物体の欠陥検査装置および方法、記録媒体
Inventor：
Applicant, Patent owner：
Agent (1)：
國分 孝悦
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1997342761
Publication number (International publication number)：1999173827
Application date： Dec. 12, 1997
Publication date： Jul. 02, 1999
Summary：
【要約】【課題】 円筒物体の表面に点在する低コントラストで微細な欠陥を検出する場合に、欠陥箇所の検出能力の向上、欠陥検出処理時間の短縮および装置コストの低減を実現できるようにする。【解決手段】 被検物2の反射光4を光電変換して生成した画像信号をディジタル変換するA/D変換器7と、ディジタル信号中の少なくとも検出すべき最小欠陥領域のデータを対象として所定の処理を施すことにより、欠陥部分に対応する画像データ部分のみを抽出するフィルタ9、10とを設け、被検物2の反射光4から生成したディジタル画像信号の簡単な演算によって欠陥部を検出できるようにすることにより、被検物2の同じ領域に関して何回も画像信号を取り込まなくても済むようにするとともに、アナログ系を精巧にしたりシェーディング補正手段を設けたりして装置が複雑にならないようにする。
Claim (excerpt)：
物体表面を照射する照明手段と、上記物体表面の被照射領域を画像信号に光電変換する撮像手段とを備えた物体の欠陥検査装置において、上記光電変換された画像信号をアナログ信号からディジタル信号に変換するA/D変換手段と、上記ディジタル信号の少なくとも検出すべき最小欠陥領域のデータを対象として所定の演算を行うことにより、欠陥部に対応する画像データ部分のみを抽出する欠陥検出手段とを備えたことを特徴とする物体の欠陥検査装置。
IPC (2)：
FI (3)：
G01B 11/30 A
, G01B 11/30 G
, H04N 7/18 B
