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J-GLOBAL ID：200903052118623300

角速度センサ

Inventor： 森屋 和文 ,  持田 洋一 ,  杉本 正一 ,  長谷川 友保 ,  厚地 健一 ,  田中 克彦
Applicant, Patent owner： 株式会社村田製作所
Agent (1)： 五十嵐 清
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1994340439
Publication number (International publication number)：1996184448
Application date： Dec. 28, 1994
Publication date： Jul. 16, 1996
Summary：

【要約】【目的】 異なる2軸回りの角速度を共に感度良く検知できる角速度センサ1を提供することである。【構成】 平面振動体3は、直角四辺形状の枠体6の内側に連結梁4を介して重り振動体5が連結されている結合体であり、折曲形成された支持梁8でx,y方向に振動可能に支持されている。枠体6の四辺の外端部に励振電極となる移動電極11A,11B、z軸回り角速度検出電極となる移動電極10A,10Bを突設している。平面振動体3のx,y方向振動の共振周波数と重り振動体5のz方向振動の共振周波数とはほぼ一致するように調整する。したがって、x軸回りの回転によりz方向のコリオリ力が平面振動体3に加わると、重り振動体5だけがz方向に振動し、x軸回りの角速度を検知する。また、z軸回りに回転すると、サーボ機構18が駆動して、枠体6は実際にはx方向に移動せず、サーボ機構18の出力電圧に基づいてz軸回りの角速度を検知する。

Claim (excerpt)：

枠体の内側に連結梁を介して重り振動体が連結されて枠体と重り振動体の結合体によって平面振動体が形成され、この平面振動体は固定基板に支持梁を介してX,Y二次元平面のX方向およびY方向の振動が可能に支持されており、前記枠体の外端部からはX,Yの一方側方向に第1の移動くし歯電極が、X,Yの他方側方向に第2の移動くし歯電極がそれぞれ突設され、固定基板側には前記第1の移動くし歯電極と間隔を介して嵌合する第1の固定くし歯電極と、前記第2の移動くし歯電極と間隔を介して嵌合する第2の固定くし歯電極とが設けられ、また、前記重り振動体には垂直移動側電極が設けられるとともに該垂直移動側電極と間隔を介した対向側には固定対向電極が設けられ、前記第1の移動くし歯電極と第1の固定くし歯電極の組は平面振動体を静電力によってX,Yの一方側方向に振動させる励振電極として構成し、第2の移動くし歯電極と第2の固定くし歯電極の組はX,Y平面に垂直なZ軸回りの回転の角速度変化に対応する前記X,Yの他方側方向の振動振幅を検出するZ軸回り角速度検出電極として構成し、前記垂直移動側電極と固定対向電極の組は前記X,Yの他方側方向軸回りの回転の角速度変化に対応する重り振動体の前記Z軸方向の振動振幅を検出する平面軸回り角速度検出電極として構成した角速度センサ。

IPC (2)：

G01C 19/56 ,  G01P 9/04