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J-GLOBAL ID：200903052134468918
パワーMOSFET
Inventor：
Applicant, Patent owner：
Agent (1)：
富村 潔
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1994076503
Publication number (International publication number)：1995007154
Application date： Mar. 23, 1994
Publication date： Jan. 10, 1995
Summary：
【要約】【目的】 高い逆電圧に適し、順方向では低いバルク抵抗を有するようなパワーMOSFETを形成する。【構成】 半導体に予め定められたドーピング濃度を有する第1の導電形の内部領域1と、この内部領域1及び半導体基体の表面2に接する少なくとも1つの第2の導電形のベース領域3と、ベース領域3内にそれぞれ埋設された少なくとも1つのソース領域4と、半導体基体の表面7に接する少なくとも1つのドレイン領域7とを有し、内部領域1内には逆電圧の際に広がる空間電荷領域内に第2の導電形の補助領域11を配置し、この補助領域11間に内部領域1よりも高ドーピングされた少なくとも1つの第1の導電形の補助領域12を設け、補助領域のドーピング強さ及び第2の導電形の補助領域間の間隔は逆電圧が印加されたときその電荷キャリアが空になるように設定する。
Claim (excerpt)：
半導体基体に予め定められたドーピング濃度を有する第1の導電形の内部領域と、この内部領域及び半導体基体の表面に接する少なくとも1つの第2の導電形のベース領域と、ベース領域内にそれぞれ埋設された少なくとも1つのソース領域と、半導体基体の表面に接する少なくとも1つのドレイン領域とを有するパワーMOSFETにおいて、内部領域内には逆電圧の際に広がる空間電荷領域内に第2の導電形の補助領域(11、26)が配置され、これらの補助領域の間に位置して内部領域よりも高ドーピングされた少なくとも1つの第1の導電形の補助領域(12、27)が設けられ、補助領域のドーピング強さ及び第2の導電形の補助領域の間隔は逆電圧が印加された際にその電荷キャリヤが空にされるように設定されることを特徴とするパワーMOSFET。
FI (2)：
H01L 29/78 321 S
, H01L 29/78 301 J
Cited by examiner (3)
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特開平4-107867
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特開平4-107870
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特開昭56-142673
Article cited by the Patent：
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