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J-GLOBAL ID：200903052142984550

金属アルコキシドの精製方法

Inventor： 柿沢 政彦 ,  鵜澤 浩 ,  林田 一良
Applicant, Patent owner： 和光純薬工業株式会社
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1996214348
Publication number (International publication number)：1998036299
Application date： Jul. 25, 1996
Publication date： Feb. 10, 1998
Summary：

【要約】【課題】 金属アルコキシド中に含まれる塩素元素の量を低減させ、CVD成膜時に装置などに支障を来すことがないような高純度金属アルコキシドを得るための、金属アルコキシドの精製方法の提供。【解決手段】 金属アルコキシドを金属炭酸塩と接触させた後、蒸留することを特徴とする、金属アルコキシドの精製方法。

Claim (excerpt)：

金属アルコキシドを金属炭酸塩と接触させた後、蒸留することを特徴とする、金属アルコキシドの精製方法。

IPC (8)：

C07C 31/28 ,  C07C 29/68 ,  C07C 29/80 ,  C07F 7/00 ,  C07F 7/28 ,  C07F 9/00 ,  C07F 9/90 ,  C07F 9/94

FI (10)：

C07C 31/28 ,  C07C 29/68 ,  C07C 29/80 ,  C07F 7/00 A ,  C07F 7/00 Z ,  C07F 7/28 B ,  C07F 9/00 A ,  C07F 9/00 Z ,  C07F 9/90 ,  C07F 9/94