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J-GLOBAL ID：200903052148196244
感光性組成物
Inventor：
,
Applicant, Patent owner：
Agent (1)：
中村 稔 (外7名)
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1991009927
Publication number (International publication number)：1993019477
Application date： Jan. 30, 1991
Publication date： Jan. 29, 1993
Summary：
【要約】 (修正有)【構成】 一般式(I)で表わされる1,2-ナフトキノン-2-ジアジド-4-及び/又は5-オキシムスルホネート基を有する繰り返し単位を少なくとも1モル%含む高分子化合物を含有するポジ型感光性組成物。、Dは、1,2-ナフトキノン-2-ジアジド-4-イル基又は1,2-ナフトキノン-2-ジアジド-5-イル基を、Aは水素原子又はアルキル基を、Bは単結合、二価の芳香族炭化水素等、を示す。R1 は二価の脂肪族又は芳香族炭化水素を、R2 は水素原子等、を示す。Rは水素原子等、を示す。R3 はアルキル基等を、R4 、R5 は同一でも相異していてもよく、各々水素原子等、を示す。nは1以上の整数を示す。またRとBが結合して環を形成してもよい。【効果】 高感度であり、解像力に優れた感光性組成物を提供できる。。
Claim (excerpt)：
下記一般式(I)で表わされる1,2-ナフトキノン-2-ジアジド-4-及び/又は5-オキシムスルホネート基を有する繰り返し単位を少なくとも1モル%含む高分子化合物を含有するポジ型感光性組成物。【化1】式中、Dは、1,2-ナフトキノン-2-ジアジド-4-イル基又は1,2-ナフトキノン-2-ジアジド-5-イル基を示す。Aは水素原子又はアルキル基を示し、Bは単結合、二価の芳香族炭化水素、-CO-O-R1- 、又は -CO-NR2-R1-を示す。R1 は二価の脂肪族又は芳香族炭化水素を示し、R2 は水素原子、アルキル、アリール、又はアラルキル基を示す。Rは水素原子、アルキル、アルケニル、アリール、アラルキル、アルコキシ、アリーロキシ、シアノ、-CO-R3もしくは-CO-NR4R5 の各基を示す。R3 はアルキル、アリール、アラルキル、アルコキシ、もしくはアリーロキシ基を示し、R4 、R5 は同一でも相異していてもよく、各々水素原子、アルキル、アリール、もしくはアラルキル基を示す。nは1以上の整数を示す。またRとBが結合して環を形成してもよい。
IPC (4)：
G03F 7/039 501
, G03F 3/10
, G03F 7/023 501
, H01L 21/027
