Pat

J-GLOBAL ID：200903052167988615

散乱計測を用いてオーバレイ誤差を検出する装置および方法

Inventor： ミーハー・ウォルター・ディ. ,  レビー・アディ ,  ゴロヴァネブスキイ・ボリス ,  フリードマン・マイケル ,  スミス・イアン ,  アデル・マイケル ,  ファブリカント・アナトリー ,  ベヴィス・クリストファー・エフ. ,  フィールデン・ジョン ,  ベアケット・ノア ,  グロス・ケン ,  ザリッキ・ピオトル ,  ワック・ダン ,  デセッコ・パオラ ,  ジュラ・サディアス・ジー.
Applicant, Patent owner： ケーエルエー-テンカー テクノロジィース コーポレイション
Agent (1)： 特許業務法人明成国際特許事務所
Gazette classification：公表公報
Application number (International application number)：2005508481
Publication number (International publication number)：2006509219
Application date： Dec. 05, 2003
Publication date： Mar. 16, 2006
Summary：

【課題】 試料の2つのレイヤ間のオーバレイ誤差を決定するための技術、装置、およびターゲットを提供する。【解決手段】 ある実施形態において、試料の第1レイヤ内の複数の第1構造群、および前記試料の第2レイヤ内の複数の第2構造群の間のオーバレイを決定する方法が開示される。前記第1および第2構造群の一部を含むターゲットA、B、CおよびDが提供される。前記ターゲットAは、その第1および第2構造部分の間にオフセットXaを有するよう設計され、前記ターゲットBは、その第1および第2構造部分の間にオフセットXbを有するよう設計され、前記ターゲットCは、その第1および第2構造部分の間にオフセットXcを有するよう設計され、前記ターゲットDは、その第1および第2構造部分の間にオフセットXdを有するよう設計される。前記オフセットXa、Xb、XcおよびXdのそれぞれは好ましくはゼロとは異なる。XaはXbとは反対の符号で異なり、XcはXdとは反対の符号で異なる。ターゲットA、B、CおよびDを電磁放射で照射されることによって、ターゲットA、B、CおよびDからそれぞれスペクトルSA、SB、SC、およびSDを得る。前記得られたスペクトルSA、SB、SC、およびSDに基づいて線形近似を用いて前記第1および第2構造群の間の任意のオーバレイ誤差が決定される。

Claim (excerpt)：

試料の第1レイヤ内の複数の第1構造群、および前記試料の第2レイヤ内の複数の第2構造群の間のオーバレイを決定する方法であって、前記方法は、 前記第1および第2構造群の一部を含むターゲットA、B、CおよびDを提供することであって、 前記ターゲットAは、その第1および第2構造部分の間にオフセットXaを有するよう設計され、 前記ターゲットBは、その第1および第2構造部分の間にオフセットXbを有するよう設計され、 前記ターゲットCは、その第1および第2構造部分の間にオフセットXcを有するよう設計され、 前記ターゲットDは、その第1および第2構造部分の間にオフセットXdを有するよう設計され、 前記オフセットXa、Xb、XcおよびXdのそれぞれはゼロとは異なり、XaはXbとは反対の符号で異なり、XcはXdとは反対の符号で異なり、 ターゲットA、B、CおよびDを電磁放射で照射することによって、ターゲットA、B、CおよびDからそれぞれスペクトルSA、SB、SC、およびSDを得ること、および 前記得られたスペクトルSA、SB、SC、およびSDに基づいて線形近似を用いて前記第1および第2構造群の間の任意のオーバレイ誤差を決定すること を含む方法。

IPC (3)：

G01N 21/27 ,  G01N 21/21 ,  G01N 21/47

FI (3)：

G01N21/27 B ,  G01N21/21 Z ,  G01N21/47 A

F-Term (16)：

2G059AA10 ,  2G059BB16 ,  2G059DD13 ,  2G059EE02 ,  2G059EE05 ,  2G059EE12 ,  2G059GG10 ,  2G059JJ03 ,  2G059JJ11 ,  2G059JJ19 ,  2G059JJ22 ,  2G059JJ30 ,  2G059KK04 ,  2G059MM01 ,  2G059MM05 ,  2G059MM13