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J-GLOBAL ID：200903052186612316

積層膜の製造方法、電気光学装置、電気光学装置の製造方法、有機エレクトロルミネッセンス装置の製造方法、及び電子機器

Inventor： 宮澤 貴士
Applicant, Patent owner： セイコーエプソン株式会社
Agent (1)： 上柳 雅誉 (外2名)
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：2001332919
Publication number (International publication number)：2003133070
Application date： Oct. 30, 2001
Publication date： May. 09, 2003
Summary：

【要約】【課題】 材料層の化学的・物理的性質を所望の状態に保持できる電気光学装置の製造方法を提供する。【解決手段】 有機エレクトロルミネッセンス表示装置1は、基板2上に低屈折率層3、封止層4、陽極8、発光層5、正孔輸送層6,陰極7など複数の複数の層を積層したものである。そして、これら積層した層のうち低屈折率層3を形成する際、湿潤ゲルは基板2上に塗布された後、超臨界乾燥法によって乾燥される。

Claim (excerpt)：

複数の層を含む積層膜の製造方法において、前記複数の層のうち、少なくとも1つの層を形成する工程の少なくとも一部を、超臨界条件下で行うことを特徴とする積層膜の製造方法。

IPC (3)：

H05B 33/10 ,  G09F 9/30 365 ,  H05B 33/14

FI (3)：

H05B 33/10 ,  G09F 9/30 365 Z ,  H05B 33/14 A

F-Term (7)：

3K007AB11 ,  3K007DB03 ,  3K007FA01 ,  5C094AA31 ,  5C094AA37 ,  5C094BA27 ,  5C094GB10