Pat

J-GLOBAL ID：200903052194752771

磁気ディスク基板の洗浄方法および装置

Inventor： 戸田 久志
Applicant, Patent owner： 三菱化学株式会社
Agent (1)： 長谷川 曉司
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1997350912
Publication number (International publication number)：1999185254
Application date： Dec. 19, 1997
Publication date： Jul. 09, 1999
Summary：

【要約】【課題】 ディスク基板の洗浄工程において洗浄むらの発生をなくし、洗浄を効率的に行うことができ、かつ、スクラブロール駆動装置からの発塵によりディスク基板を汚染することのないディスク基板の洗浄方法および装置の提供【解決手段】 縦置き状態に支持され回転する磁気ディスク基板の両側面を、洗浄液の存在下にスクラブ材で挟み込むと共にスクラブ材を磁気ディスク基板の半径方向に往復動させることによって、磁気ディスク基板を洗浄することを特徴とする磁気ディスク基板の洗浄方法

Claim (excerpt)：

縦置き状態に支持され回転する磁気ディスク基板の両側面を、洗浄液の存在下にスクラブ材で挟み込むと共にスクラブ材を磁気ディスク基板の半径方向に往復動させることによって、磁気ディスク基板を洗浄することを特徴とする磁気ディスク基板の洗浄方法。

IPC (5)：

G11B 5/84 ,  B08B 1/00 ,  B08B 3/02 ,  G11B 5/704 ,  G11B 23/50

FI (5)：

G11B 5/84 Z ,  B08B 1/00 ,  B08B 3/02 F ,  G11B 5/704 ,  G11B 23/50 C