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J-GLOBAL ID：200903052207746962

電子ビーム加工機用電子銃

Inventor： 中村 強
Applicant, Patent owner： 日本電気株式会社
Agent (1)： 若林 忠
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1993146146
Publication number (International publication number)：1995006718
Application date： Jun. 17, 1993
Publication date： Jan. 10, 1995
Summary：

【要約】【目的】 直熱型よりも加熱電力が多くなく、かつ、寿命が従来の傍熱型より長くしかも安定した陰極を有する電子ビーム加工機用電子銃の提供。【構造】 背後型加熱用補助電子銃9を真空容器10内に密封し、少なくとも前記補助電子銃9の副陰極5の電子放出面と対向する真空容器壁を高融点金属で構成して、該高融点金属を主陰極とする。また、真空容器10内にゲッターが設けられたものもある。

Claim (excerpt)：

背後加熱傍熱型の電子ビーム加工機用電子銃において、背後加熱用補助電子銃を真空容器内に密封し、少なくとも該補助電子銃の副陰極の電子放出面と対向する真空容器壁を高融点金属で構成して、該高融点金属を主電子ビーム発生用の主陰極とする構造を有することを特徴とする電子ビーム加工機用電子銃。

IPC (3)：

H01J 37/06 ,  H01J 37/075 ,  H01J 37/18