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J-GLOBAL ID：200903052223910250

四フッ化ケイ素の製造方法

Inventor： 小島 是彦 ,  奥田 剛士
Applicant, Patent owner： 愛知製鋼株式会社
Agent (1)： 小島 清路
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1995353386
Publication number (International publication number)：1997183608
Application date： Dec. 28, 1995
Publication date： Jul. 15, 1997
Summary：

【要約】【課題】 電子材料分野において有用な四フッ化ケイ素を、安価な原料を用いて、効率よく、特に比較的低温において製造することができる、極めて実用性の高い製造方法をを提供する。【解決手段】 湿式法のリン酸及びリン酸肥料製造工程において発生するスラッジ中では、同一粒子中にフッ化カルシウムと二酸化ケイ素とが接して、或いは近接して存在している。このスラッジを原料として使用し、これに硫酸を反応させ、特にフッ素量に対して化学量論的に必要な量の1.5倍、更には2倍以上の硫酸を反応させることにより、高い効率で四フッ化ケイ素を得る。この製造方法では、室温程度の低温においても実用的な効率でもって反応させることができ、特に50〜100°C程度の温度範囲において、容易に且つ効率よく、安価に四フッ化ケイ素を製造することができる。

Claim (excerpt)：

湿式法のリン酸製造工程又はリン酸肥料製造工程において発生する、少なくともフッ化カルシウム(CaF2 )と二酸化ケイ素(SiO2 )とを含有するスラッジと、硫酸とを反応させることを特徴とする四フッ化ケイ素の製造方法。