銅ダマシン配線用めっき液

Inventor： , , , , ,
Applicant, Patent owner： ,
Agent (1)：小野信夫
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1998249453
Publication number (International publication number)：2000080494
Application date： Sep. 03, 1998
Publication date： Mar. 21, 2000
Summary：

【要約】【課題】特別の機械あるいは電気的設備を必要とせずに、微細な溝あるいは孔に対し、気泡の発生を防ぎながら効率よく銅めっきを行うことのできる銅ダマシン配線用めっき液を提供すること。【解決手段】硫酸銅濃度が4g/l〜200g/l、硫酸濃度が10〜200g/lおよび塩素イオン濃度が0〜100mg/lであり、必要によりイオウ系化合物および高分子化合物を含有する銅ダマシン配線用銅めっき液。

Claim (excerpt)：

硫酸銅濃度が4g/l〜200g/l、硫酸濃度が10〜200g/lおよび塩素イオン濃度が0〜100mg/lであることを特徴とする銅ダマシン配線用銅めっき液。

IPC (4)：

C25D 3/38 101 , C25D 7/12 , H01L 21/288 , H01L 21/3205

FI (4)：

C25D 3/38 101 , C25D 7/12 , H01L 21/288 E , H01L 21/88 M

F-Term (36)：

4K023AA19 , 4K023BA06 , 4K023CA01 , 4K023CA09 , 4K023CB08 , 4K023CB13 , 4K023CB28 , 4K023CB32 , 4K023DA06 , 4K023DA07 , 4K023DA08 , 4K024AA09 , 4K024AB08 , 4K024BB12 , 4K024CA02 , 4K024CA04 , 4K024CA06 , 4K024GA16 , 4M104BB04 , 4M104DD52 , 4M104GG13 , 4M104HH14 , 4M104HH20 , 5F033HH11 , 5F033MM01 , 5F033PP27 , 5F033QQ48 , 5F033WW00 , 5F033WW03 , 5F033WW04 , 5F033WW08 , 5F033XX04 , 5F033XX05 , 5F033XX06 , 5F033XX33 , 5F033XX34

Patent cited by the Patent：

Cited by examiner (13)

特開平2-185992
酸性銅めっき浴及びこれを使用するめっき方法
Gazette classification：公開公報 Application number：特願平5-308063 Applicant：奥野製薬工業株式会社
電気銅めつき法
Gazette classification：公開公報 Application number：特願平3-287109 Applicant：住友金属鉱山株式会社

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