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J-GLOBAL ID：200903052258429074
容器の窓の清浄方法
Inventor：
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Applicant, Patent owner：
Agent (1)：
市村 健夫
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1992258967
Publication number (International publication number)：1994081151
Application date： Sep. 01, 1992
Publication date： Mar. 22, 1994
Summary：
【要約】【目的】 装置の窓の表面が汚染された場合容易に清浄にし、又は窓の表面の汚染を防止する窓の清浄方法を提供することである。【構成】 窓の表面に物質が付着したときは、付着した物質に高パワー密度光を照射してアブレーションを行い、窓を損傷することなく物質を除去する。又は窓に高パワー密度光を照射して窓を清浄に保持する。
Claim (excerpt)：
容器に設けられた光を透過する窓の表面に付着した物質に高パワー密度光を照射してアブレーションにより、該物質を除去することを特徴とする容器の窓の清浄方法。
IPC (2)：
Patent cited by the Patent：
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