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J-GLOBAL ID:200903052290982478

X線検査装置及び検査方法

Inventor:
Applicant, Patent owner:
Agent (2): 角田 芳末 ,  磯山 弘信
Gazette classification:公開公報
Application number (International application number):2003421379
Publication number (International publication number):2005181068
Application date: Dec. 18, 2003
Publication date: Jul. 07, 2005
Summary:
【課題】 導通体の導通不良を検査するための適切なパラメータを設定し、シンプルで高速で信頼性の高いX線検査装置及び検査方法を提案することを目的とする。【解決手段】 3次元X線CTスキャンにより各種導通体の導通不良検査を行うものであって、導通体を認識し3次元画像を描画した後、この3次元画像を2値化し、2値化した3次元画像を3次元ラベリングして前記導通体が分裂表示されているかどうかを判断する。そして、分裂表示されていない場合、この2値化した3次元画像を前記導通体について3次元縮小処理し縮小3次元画像を作成し、この縮小3次元画像をラベリングして前記導通体が分裂表示されたかどうかを判断する。そして、この縮小3次元画像をラベリング後に前記導通体が分裂表示されていない場合、分裂表示されるまで3次元画像の縮小処理及びラベリングを繰り返し、分裂するまでの3次元縮小処理の繰り返し回数を算出することを特徴とする。【選択図】 図2
Claim (excerpt):
3次元X線CTスキャンにより各種導通体の導通不良検査を行うX線検査装置であって、 前記導通体のX線投影像を再構成してなる3次元画像を2値化処理した2値画像の導通体について3次元縮小処理を行う縮小処理部と、 前記2値画像のラベリングを行うラベリング部と、 前記導通体の3次元画像描画を行うとともに、前記3次元縮小処理及びラベリングにより前記導通体が分裂表示されるまでの3次元縮小処理回数を算出する制御部と を有することを特徴とするX線検査装置。
IPC (3):
G01N23/04 ,  G06T1/00 ,  G06T3/40
FI (3):
G01N23/04 ,  G06T1/00 305A ,  G06T3/40 B
F-Term (32):
2G001AA01 ,  2G001BA11 ,  2G001CA01 ,  2G001DA09 ,  2G001GA06 ,  2G001GA08 ,  2G001HA01 ,  2G001HA07 ,  2G001HA08 ,  2G001HA13 ,  2G001HA14 ,  2G001KA03 ,  2G001LA11 ,  2G001MA05 ,  5B057BA03 ,  5B057CA02 ,  5B057CA08 ,  5B057CA13 ,  5B057CA16 ,  5B057CB02 ,  5B057CB06 ,  5B057CB13 ,  5B057CB16 ,  5B057CD05 ,  5B057CE12 ,  5B057DA03 ,  5B057DA17 ,  5B057DB03 ,  5B057DB05 ,  5B057DB08 ,  5B057DC14 ,  5B057DC22
Patent cited by the Patent:
Cited by applicant (1)
  • X線検査装置及び方法
    Gazette classification:公開公報   Application number:特願2000-385177   Applicant:松下電器産業株式会社

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