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J-GLOBAL ID：200903052298795804
超硬基材上の硬質カ-ボン膜
Inventor：
,
Applicant, Patent owner：
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1994197112
Publication number (International publication number)：1996060365
Application date： Aug. 23, 1994
Publication date： Mar. 05, 1996
Summary：
【要約】【目的】 超硬基材上に、密着性、耐スクラッチ性が良い硬質カ-ボン膜を提案すること。【構成】 超硬基材上に硬質カ-ボン膜を形成する際、中間層を設け、超硬基材上に第1層として、チタンまたは、クロム膜をPVD法により形成し、第2層としてシリコン膜をPVD法により形成し、第3層に硬質カ-ボン膜をプラズマCVD法により形成する。【効果】 チタン、シリコンの単体元素を用いた中間層を設けることにより、超硬基材上の硬質カ-ボン膜の内部応力が緩和され、密着性、及び耐スクラッチ性に優れた硬質カ-ボン膜が得られ、さらに生産性も向上し、品質も安定した。
Claim (excerpt)：
タングステンカ-バイド、タンタルカ-バイド等の超硬材である基材上に、乾式メッキによるチタン、またはクロムの第1層と、該第1層の表面に、乾式メッキによるシリコン、またはゲルマニウムの第2層とよりなる中間層と、該中間層の表面に、乾式メッキによる硬質カ-ボン膜の第3層とよりなることを特徴とする超硬基材上の硬質カ-ボン膜。
IPC (2)：
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