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J-GLOBAL ID：200903052314591408

自動的なプローブ交換および位置合わせを有する走査プローブ顕微鏡

Inventor： ヤング、ジェイムズ・エム ,  プレイター、クレイグ・ビー ,  グリッグ、デイビッド・エー ,  メイヤー、チャールズ・アール ,  ハーツォッグ、ウイリアム・エイチ ,  ガーリー、ジョン・エー ,  エリングス、バージル・ビー
Applicant, Patent owner： デジタル・インストルメンツ・インコーポレーテッド
Agent (1)： 鈴江 武彦 (外4名)
Gazette classification：公表公報
Application number (International application number)：1997510389
Publication number (International publication number)：2001500958
Application date： Aug. 23, 1996
Publication date： Jan. 23, 2001
Summary：

【要約】プローブの自動的な交換および正確な位置合わせを有する走査プローブ顕微鏡および方法であり、プローブマウント(32)に取り付けるための1以上の付加的な保管プローブ(4)が保管カセット(22)またはウエハに保管され、選択されたプローブが検出システム(11)に位置合わせされ、そして位置合わせされたプローブがプローブマウントに対してクランプされる。クランプ処理はクランプ(68)を使用して実行され、このクランプ(68)は保管カセットから置換プローブを取り外す時にディセーブルされ、プローブをプローブマウントに取り付ける時にイネーブルされ、後続するプローブ交換ために後にプローブを解放する時にディセーブルされる。プローブ検出システムからの信号を使用するか、あるいはプローブ画像のパターン認識処理を使用してプローブ位置を決定することにより、プローブ位置合わせが自動化され、作業者の介在なくプローブの取り外しおよび交換が可能となる。適切なプローブ取り付けおよび動作を確実にするために、エラーチェックのための技術が使用される。

Claim (excerpt)：

試料上の1以上の点において前記試料の少なくとも1つの特性のマップを生成する走査プローブ顕微鏡において、 少なくとも1つのプローブを保管するプローブ保管手段と、 前記プローブがプローブマウントに移された時に、前記プローブ保管手段により保管されている前記プローブをサポートするプローブマウントと、 前記試料の少なくとも1つの特性に関係するプローブ応答を検出する検出システムと、 前記プローブマウントと前記試料との間および前記プローブ保管手段と前記検出システムとの間の相対並進運動を生成する並進運動手段と、 前記プローブ保管手段からプローブを取り外し、前記プローブマウント上に前記プローブを取り付ける、選択的に起動可能なプローブピックアップ手段と、 前記検出システムに関して前記プローブ保管手段を位置付けて前記選択的に起動可能なプローブピックアップ手段を起動するように前記並進運動手段を制御する制御手段とを具備する走査プローブ顕微鏡。

IPC (2)：

G01N 13/10 ,  G01N 13/16

FI (2)：

G01N 13/10 Z ,  G01N 13/16 A