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J-GLOBAL ID：200903052335145238
ダイヤモンド様炭素(DLC)又は他の真空蒸着被膜を基体に被覆する装置及び方法
Inventor：
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Applicant, Patent owner：
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Agent (1)：
石田 敬 (外4名)
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1999179921
Publication number (International publication number)：2000064047
Application date： Jun. 25, 1999
Publication date： Feb. 29, 2000
Summary：
【要約】 (修正有)【課題】ダイヤモンド様炭素を基体上に被覆する装置及び方法を提供する。【解決手段】基体をダイヤモンド様被膜又は真空蒸着可能な材料で被覆する装置が、陽極を有し、又は陽極として作用する室11、この室内に基体15を支持する手段、この室内に炭化水素ベースの気体を含む低圧雰囲気を確立するための手段、及びこの室内に気体プラズマを確立するための無線周波源12を有し、前記基体15は陰極として作用する。
Claim (excerpt)：
基体を真空蒸着可能な材料で被覆する装置であって、陽極を有する室、この室内に基体を支持する手段、この室内に低圧気体雰囲気を確立するための手段、及びこの室内に気体プラズマを確立するための無線周波源を有し、前記基体が陰極として作用するようにした装置。
IPC (5)：
C23C 16/26
, C23C 14/06
, C30B 23/08
, C30B 29/04
, C30B 30/02
C23C 16/26 Z
, C23C 14/06 F
, C30B 23/08 P
, C30B 29/04 D
, C30B 30/02
Cited by examiner (10)
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