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J-GLOBAL ID：200903052346032257
共焦点走査方式顕微鏡及びその走査方法並びに被測定物の厚さ測定装置及び方法
Inventor：
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Applicant, Patent owner：
,
Agent (1)：
志賀 正武 (外2名)
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1996032301
Publication number (International publication number)：1997126729
Application date： Feb. 20, 1996
Publication date： May. 16, 1997
Summary：
【要約】【課題】 被測定物の厚さを非接触で高精度かつ迅速に測定し、また被測定物の基準重量に対する重量偏差によるCDリニアリティの傾きの増大を押さえ、さらに被測定物の厚さに基づいてスキャナチャックの往復運動の制御を規定する制御パラメータを自動的に生成する。【解決手段】 被測定物を載置する載置部と該被測定物の厚さを測定するための基準指示部とを上部に有し、該載置部と基準指示部とを昇降させる昇降手段と、該昇降手段の高さを測定する高さ測定手段と、昇降手段外に固定され、対向する被測定物までの距離あるいは基準指示部までの距離が所定の値であることを検出する距離検出手段と、昇降手段の高さを制御し、かつ高さ測定手段の測定結果に基づいて被測定物の厚さを算出する厚さ測定制御手段とを具備する。
Claim (excerpt)：
被測定物を載置する載置部と該被測定物の厚さを測定するための基準指示部とを上部に有し、該載置部と基準指示部とを昇降させる昇降手段と、該昇降手段の高さを測定する高さ測定手段と、前記昇降手段外に固定され、対向する被測定物までの距離あるいは前記基準指示部までの距離が所定の値であることを検出する距離検出手段と、前記昇降手段の高さを制御し、かつ前記高さ測定手段の測定結果に基づいて被測定物の厚さを算出する厚さ測定制御手段とを具備することを特徴とする厚さ測定装置。
IPC (2)：
FI (2)：
G01B 11/06 Z
, H01L 21/66 P
