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J-GLOBAL ID：200903052348644004

ワークホルダー

Inventor： 井上 裕昭
Applicant, Patent owner： スピードファム・アイペック株式会社
Agent (1)： 田中 宏 (外1名)
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1998227855
Publication number (International publication number)：2000052242
Application date： Aug. 12, 1998
Publication date： Feb. 22, 2000
Summary：

【要約】【目的】本発明は、例えばフォトマスク等、極めて高い平坦度や平行度が要求される板状のガラスの表面を研削、研磨加工を施し、最終的に鏡面仕上げを行なうための平面研磨加工工程において使用するワークホルダーを提供する。【構成】板状の被加工体を吸着固定して加工を行なう片面加工機のワークホルダーであって、該ワークホルダーを構成するリテーナが、その内周縁部に凹状の溝部を備えたワークホルダーを提供する。前述の凹状の溝部は、被加工体の非加工面のエッジ部が当接する部位を含んでおりかつリテーナの内周縁部全周に亘って形成されており、またその幅は凹状溝の頂部よりリテーナの底面までの距離の50%以下であることが好ましい

Claim (excerpt)：

板状の被加工体を吸着固定して加工を行なう片面加工機のワークホルダーであって、該ワークホルダーを構成するリテーナが、その内周縁部に凹状の溝部を備えたものであることを特徴とするワークホルダー。

IPC (2)：

B24B 37/04 ,  H01L 21/304 622

FI (2)：

B24B 37/04 H ,  H01L 21/304 622 G

F-Term (4)：

3C058AA07 ,  3C058AB04 ,  3C058CB02 ,  3C058DA17